光電光譜分析儀器的不足之處是它仍是一個(gè)相對(duì)的分析方法，試料組成、結(jié)構(gòu)狀態(tài)、激發(fā)條件等難于完全控制，一般需用一套相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行匹配，使光電光譜的應(yīng)用受到一定的限制，另外光電光譜分析法也僅適用于金屬元素及非金屬元素的成分分析，對(duì)元素的價(jià)態(tài)的測(cè)量仍無(wú)能為力，有待于其他分析方法配合使用。

光電光譜分析在物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)等基礎(chǔ)學(xué)科以及冶金、地址、機(jī)械、化工、農(nóng)業(yè)、環(huán)保、食品、醫(yī)藥等領(lǐng)域都有其廣泛的用途。特別是在鋼鐵及有色金屬的冶煉中控制冶煉工藝具有極其重要的地位，而在地質(zhì)系統(tǒng)找礦、環(huán)保、農(nóng)業(yè)、生物、樣品中微量元素的檢測(cè)，高純金屬及高純?cè)噭┲泻哿侩s質(zhì)的測(cè)定以及狀態(tài)分析方面，光電光譜法都是具有相當(dāng)有效的一種分析手段，是其他方法無(wú)法取代的。