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紅外檢測(cè)技術(shù)應(yīng)用及發(fā)展

發(fā)布日期:2015年6月11日  瀏覽次數(shù):
紅外線(xiàn)是一種波長(zhǎng)范圍大致在0.78μm~1000μm頻譜范圍內(nèi)的電磁輻射波。任何溫度高于絕對(duì)零度(-273.15℃)的物體,都會(huì)向外部空間以紅外線(xiàn)的方式輻射能量。物體溫度越高則向外輻射的能量越多。

所謂紅外檢測(cè)技術(shù),是指利用紅外線(xiàn)的物理性質(zhì)來(lái)實(shí)現(xiàn)相關(guān)物理量測(cè)量的檢測(cè)技術(shù)。紅外檢測(cè)具有高靈敏度、高穩(wěn)定性和較強(qiáng)的抗干擾性等優(yōu)點(diǎn),最初主要應(yīng)用于軍事領(lǐng)域的制導(dǎo)、偵察、搜索、預(yù)警、探測(cè)、跟蹤、全天候前視和夜視、武器瞄準(zhǔn)等。20世紀(jì)70年代后,由于紅外檢測(cè)器件發(fā)展迅猛、生產(chǎn)成本下降,加之民用市場(chǎng)的需求,使得軍事紅外技術(shù)逐步向民用轉(zhuǎn)化,紅外檢測(cè)技術(shù)開(kāi)始應(yīng)用于電力設(shè)備的故障檢測(cè)、可燃或有毒氣體成分分析、礦產(chǎn)資源勘探、氣象監(jiān)測(cè)等。近年來(lái),紅外檢測(cè)是發(fā)展最快的技術(shù)之一,紅外傳感器目前已廣泛應(yīng)用于航空航天、天文、氣象、軍事、工業(yè)、農(nóng)業(yè)、醫(yī)學(xué)、交通和民用等眾多領(lǐng)域,在日常工作和生活中起著不可替代的重要作用。

以下從應(yīng)用較多的紅外測(cè)溫、紅外成像、紅外氣體成分分析等方面對(duì)紅外檢測(cè)技術(shù)進(jìn)行重點(diǎn)介紹。

紅外測(cè)溫

紅外測(cè)溫有多種方法, 其中較常用的是按照斯蒂芬-玻爾茲曼定律(物體紅外輻射的強(qiáng)度與物體的溫度和輻射率相關(guān))制成的紅外溫度計(jì)。該類(lèi)紅外溫度計(jì)主要由光學(xué)系統(tǒng)、紅外傳感元件、調(diào)制單元、指示單元等部分構(gòu)成。適用于對(duì)高速運(yùn)動(dòng)物體、帶電物體、腐蝕介質(zhì)、高溫或高壓物體或介質(zhì)溫度的遠(yuǎn)距離和非接觸測(cè)量。具有響應(yīng)速度快(毫秒級(jí),甚至微秒級(jí)),測(cè)溫靈敏度高,不會(huì)破壞實(shí)測(cè)對(duì)象原先溫度場(chǎng)分布狀況,測(cè)出溫度失真較小,測(cè)溫范圍非常廣泛(從攝氏零下幾十度到零上幾千度的溫度)等顯著優(yōu)點(diǎn)。

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圖1為美國(guó)LumaSenser技術(shù)公司于2014年新推出的E2T PULSAR 4紅外溫度儀,在雙通道模式下可同時(shí)測(cè)量高溫燃燒爐的爐膛壁(耐火層)溫度和爐內(nèi)火焰或氣體溫度, 其溫度測(cè)量范圍為350℃~2000℃。所配帶的智能火焰測(cè)量算法(Smart FMA™),可實(shí)現(xiàn)火焰透明度的實(shí)時(shí)補(bǔ)償和修正,從而消除火焰透明度對(duì)紅外溫度測(cè)量造成的不利影響。測(cè)量不確定度為讀數(shù)的+0.3%或3℃+1計(jì)數(shù)(兩者取大值),重復(fù)度為滿(mǎn)量程的0.1%,響應(yīng)時(shí)間為0.05s~120s(可調(diào)),焦距為500mm到無(wú)窮大,帶兩個(gè)4~20mA DC模擬量輸出和一個(gè)RS485數(shù)字接口。

紅外成像

紅外成像儀,也常簡(jiǎn)稱(chēng)為熱像儀,主要是檢測(cè)0.9 ~14波長(zhǎng)范圍內(nèi)的紅外電磁頻譜區(qū)的輻射量,通過(guò)熱圖像技術(shù),給出熱輻射體的溫度值及溫度場(chǎng)分布圖,并轉(zhuǎn)換成可見(jiàn)的熱圖像。

在需了解物體的溫度分布以便分析、研究物體的結(jié)構(gòu),探測(cè)物體的內(nèi)部缺陷或工作狀況,進(jìn)而進(jìn)行故障診斷分析的場(chǎng)合,可通過(guò)紅外成像儀以非接觸方式探測(cè)被測(cè)物體目標(biāo)所釋放的紅外輻射能量,形成整個(gè)目標(biāo)對(duì)象的紅外輻射分布(即溫度分布)圖像。與常規(guī)攝像機(jī)不同的是,大多數(shù)成像儀不是利用常規(guī)的CCD或CMOS傳感元件,而是采用特殊的FPA(焦平面陣列),以感應(yīng)更長(zhǎng)的波長(zhǎng)段。最常用的FPA類(lèi)型有InSb, InGaAs, HgCdTe和QWIP等。

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圖2為福祿克于2014年11月在Rockwell自動(dòng)化展覽會(huì)上所展出的 TiX1000 紅外成像儀。該產(chǎn)品屬采用Fluke Connect™技術(shù),可與無(wú)線(xiàn)測(cè)試與測(cè)量工具網(wǎng)互聯(lián),實(shí)現(xiàn)對(duì)現(xiàn)場(chǎng)紅外熱像和數(shù)據(jù)的自動(dòng)收集、記錄和共享的首款高清紅外熱像儀,也是唯一一款可設(shè)置子窗口至240Hz幀速率,用于高級(jí)應(yīng)用的手持式熱像儀。其光譜測(cè)量范圍為7.5 ~14 ,空間分辨率為0.6mRad,圖像分辨率1024×768(標(biāo)準(zhǔn)模式)和2048×1536(超分辨率模式),幀速率為30 Hz或9Hz,NEDT(噪聲等效溫差)≤0.05℃(目標(biāo)溫度30℃下),32倍數(shù)字變焦。標(biāo)準(zhǔn)拍攝像素比常規(guī) 320×240 熱像儀高 10 倍。溫度測(cè)量量程-40℃~1200℃(高溫型可高達(dá)2000℃),測(cè)量精度±1.5℃或±1.5%。配帶5.6寸液晶顯示器和DVI-D(HDMI)視頻輸出接口,2015年將會(huì)推出USB2.0、Gi gE Vi s i o n和RS232接口。

此外,通過(guò)選用高靈敏度的紅外探測(cè)元件,紅外成像儀也可用于有毒、有害、易燃介質(zhì)的泄漏探測(cè)。

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最近,美國(guó)I R C ame r a s和L e a kSurveys公司聯(lián)合發(fā)布了用于烴類(lèi)氣體泄漏檢測(cè)的四款中波紅外Ni a t ros光學(xué)氣體成像儀(見(jiàn)圖3):Ni a t r o s 320(320×256,I nSb傳感器,30μm像素點(diǎn)距,NEDT<15mk),Niatros SD(640×512,I nSb傳感器,20μm像素點(diǎn)距,NEDT<15mk),Niatros HD(1280×1024,I nSb傳感器,12μm像素點(diǎn)距,NEDT<25mk)和NiatrosH D+( 1 2 8 0 × 1 0 2 4 , n B n 傳感器,12μm像素點(diǎn)距,NEDT<25mk)。成像儀工作溫度范圍為-40℃~65℃。因紅外傳感器工作溫度為-196℃或-143℃(取決于傳感器材料),故這些成像儀均配有閉式循環(huán)斯特林冷卻裝置,MTBF可達(dá)90000h。為優(yōu)化泄漏氣體檢測(cè)和成像,配置了LAP-DnCE(局域處理-動(dòng)態(tài)對(duì)比增強(qiáng))和降噪過(guò)濾裝置等先進(jìn)的圖像處理功能。數(shù)據(jù)接口有CameraLi n k、H.264、NTSC/PAL、RS232/RS422和Gig-E可選。

紅外成像的核心部件FPA正向小型化、高密度化、智能化( 如自適應(yīng)焦平面陣列AFPA)、多功能化(集FPA、讀出電路、信號(hào)處理、多通信接口于一體) , 不斷提高其探測(cè)靈敏度和分辨率方向發(fā)展。

紅外氣體分析

基于紅外光譜技術(shù)的成分分析儀表,具有“綠色、快速、非破壞、在線(xiàn)”等特點(diǎn),是分析化學(xué)領(lǐng)域迅猛發(fā)展的高新分析技術(shù)之一。工業(yè)中常用紅外氣體分析儀工作原理是利用被測(cè)氣體的紅外吸收光譜特征或熱效應(yīng)而實(shí)現(xiàn)氣體濃度測(cè)量的,主要由紅外輻射光源、氣室/窗口材料和濾波元件、紅外傳感器三大部分構(gòu)成。紅外氣體分析儀具有能同時(shí)測(cè)量多種氣體,測(cè)量范圍寬(上限100%,下限可達(dá)10-6,甚至10-9級(jí)),靈敏度和準(zhǔn)確度高,反應(yīng)極快,有良好的選擇性,易于實(shí)現(xiàn)連續(xù)分析和自動(dòng)控制,不存在中毒現(xiàn)象,操作簡(jiǎn)單,壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),已開(kāi)始逐漸取代傳統(tǒng)的燃燒、催化型氣體分析儀。

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例如,英國(guó)S ERVOMEX公司產(chǎn)SERVOPRO 4200系列氣體紅外分析儀(見(jiàn)圖4)可同時(shí)測(cè)量CO、CO2、O2和CH4等成分(注:除O2測(cè)量采用順磁法外,其它均采用SBSW紅外測(cè)量),準(zhǔn)確度分別為O2: < 0 . 1 5%;C O、CO2和CH4均為滿(mǎn)量程的1%。另外也可基于G f x 紅外法測(cè)量C O2、C H4、C O和N2O等微量氣體, 測(cè)量量程分別為:0-5/0-100p pm(CO2)、0-50/0-500ppm(CH4)、0-50/0-500ppm(CO)、0-50/0-500ppm(N2O),準(zhǔn)確度和重復(fù)性均為讀數(shù)的1%。

紅外氣體成分分析儀近年來(lái)發(fā)展趨勢(shì)主要有:一是隨著高效、低電壓、體積小紅外器件的不斷出現(xiàn),分析儀逐漸小型化;二是采用小型窄帶輻射源,簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu),降低功耗; 三是采用激光光源,提高靈敏度和分辨率。

據(jù)美國(guó)發(fā)布的研究報(bào)告預(yù)測(cè),紅外探測(cè)器全球銷(xiāo)售額從2014年到2020年將會(huì)以11.9%年累積增長(zhǎng)率的速度遞增,到2020年預(yù)計(jì)將會(huì)從2014年的3.21億美元增加到約7.05億美元。所應(yīng)用的紅外探測(cè)器技術(shù)主要有MCT、InGaAs、熱釋電、熱堆、微輻射熱計(jì),應(yīng)用領(lǐng)域主要為人體及運(yùn)動(dòng)感知、溫度測(cè)量、火災(zāi)及氣體檢測(cè)、光譜分析測(cè)量、生物醫(yī)學(xué)影像、智能家庭等。其中,主要增長(zhǎng)點(diǎn)是消費(fèi)電子領(lǐng)域(如可提供紅外視覺(jué)的紅外隱形眼鏡)、安全防護(hù)領(lǐng)域(如可實(shí)現(xiàn)對(duì)侵入目標(biāo)或人體活動(dòng)的計(jì)數(shù)、定位和分類(lèi)的紅外偵測(cè)裝置)、智能工廠或智能住宅(如紅外火氣檢測(cè)、基于紅外測(cè)溫或人員計(jì)數(shù)的HVAC自動(dòng)精準(zhǔn)控制等)。應(yīng)用地區(qū)主要以亞太區(qū)為領(lǐng)頭羊,其次為美洲、歐洲等地區(qū)。在全球紅外成像市場(chǎng),主流的生產(chǎn)商有:美國(guó)FLIR、美國(guó)Excelitas、美國(guó)福祿克、日本Nicera、日本Murata Manufacturing、日本Hamamatsu、美國(guó)Raytheon、比利時(shí)Melexis、美國(guó)德州儀器TI、日本Omron等。

隨著紅外技術(shù)、集成電路、數(shù)字信號(hào)處理、模式識(shí)別等技術(shù)的發(fā)展,紅外傳感器正從單元器件、單一功能向高靈敏度、寬頻譜、高分辨率、低功耗、集成化、多功能化、智能化方向發(fā)展,其應(yīng)用領(lǐng)域也變得無(wú)處不在。
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